“行了, 先休息一会吧”看他还要说话,陆见连忙说“我现在就开始做实验, 你不用担心,电路图已经画好了,我检查过,没有问题。”
听到他的话蓝明达就放心了,安心坐了下来。
陆见回到自己位置上,在单晶硅片上滴上光刻胶, 又用旋涂技术将其涂均匀,让晶圆表面形成一层光刻薄膜。之后利用光学透镜将掩膜桑的电路投射到晶圆上,这里使用的光线是紫外线。
陆见手很稳, 电路图被完美地投在了晶圆上面。
之后将光刻过的晶圆放入显影液中, 再之后就是冲洗, 放入腐蚀液中,经过冲洗之后填充二氧化硅用于绝缘
这套工艺步骤很多,也很复杂,不过陆见还是很顺利地进行了下去,等到陆见将所有步骤做完的时候已经非常晚了, 中途简明远和徐言他们轮流帮忙, 等到陆见将各元器件连接完成的时候已经是凌晨四点多了。
陆见揉揉疲乏的眼睛,这个光学透镜倍率还是不行, 如果能再高些的话他们能生成的晶体管更多,要知道未来工艺达到一定水平片之后, 一块晶圆上可以分割出成千上万个芯片,可惜现在一切都是梦了。
陆见看了实验室里面的人, 大都已经趴在桌子上睡着了, 一直说要陪着他等结果的简明远还有蓝明达他们也都撑着手迷糊着。因为芯片制作的最后一个步骤是连接个元器件, 要将金属铜填充到各晶体管之间作为连接线,工艺多且复杂,需要不断重复很多层,整个过程差不多就几百个步骤,他们都已经撑不住了。
陆见将芯片放在盒子里,站起来伸了个懒腰,无声地打了几个哈欠,并没有叫醒他们的意思,现在都四点多了,还是让他们休息一吧,没多久就天亮了 。
心里这么想着陆见拿起装芯片的盒子,脚步轻轻地回到了自己的办公室,之后拿起水杯喝了一口水,也准备趴一会,还好现在已经五月了,天气已经快三十度了,也不用担心他们着凉。
心里这么想着他就闭上眼睛趴着睡了起来,脑子实在是太累了,还没等他睡着门就被突然被从外面打开了。
“陆工,你在这啊”
脚步声到了陆见桌子边上,陆见没办法只能勉强睁开眼睛太起来,进来的是蓝明达,门外面还站着简明远、赵磊和徐言,应该是突然醒过来发现他没在。
“芯片已经做好了,在这。”知道他们在想什么,陆见直接将桌子抽屉里面装着芯片的盒子拿了出来。
蓝明达迫不及待地接了过来,打开看了起来,还一边问“你做完多久了呀没有什么问题吧怎么不喊我们呢现在直接可以做测试了。”
门外的徐言他们也都跑了进来,围着蓝明达看了起来 。
陆见无奈地说“四点刚弄完,才趴在桌子上准备休息一会你们就进来了。”
蓝明达点头,“那你继续休息,我们去做测试了。”说着几个人就要出去。
陆见“等一下,等天亮了再做,外面不少人都睡着了,你们也都休息一会吧”都这个时间了,做测试肯定会将其他人都吵醒的。
几个人安静了一下,就在这时又有人跑了过来,人还没到声音已经传了过来,“蓝工,陆工他在办公室吗其他地方都没人呀”
陆见“”看来这是全部都醒了。
那人进来看到他们这样还有些奇怪,“陆工”
陆见知道这是别想睡了,只能说“走吧,走吧,现在都去做测试去,今天做完了早些下班。”
“好的。”听到他的话蓝明达应了一声就带着人都出去了,陆见没办法也只能跟在他们后面过去了。
一块芯片完成之后需要经过多道工序检测,达不到要求的机会被丢弃。
测试的时候陆见并没有上手 ,只是看着,他们之前也都做过多次测试了,整个过程都很顺利,陆见就那么看着,慢慢地整个人都迷糊了起来,不过他还是强撑着,毕竟这块芯片关乎到他们之后的研究。
这次测试包括接触测试、功能测试还有直流和交流参数测试。
等到天光大亮的时候,测试终于做完了。
测试的报告在蓝明达手上,陆见也没准备过去抢,坐在原位等待他公布答案。
蓝明达仔细地看了一下,高兴地说道“本次芯片测试非常成功,完全合乎要求,接触测试中所得电压值都超过了特定的电压范围,树枝在3v以上,所以都是开路。电路逻辑功能正确”
他一个个数字报出来,在场的人都是满脸笑容,之前那么久都没有进展,都已经快没有信心了,没想到整个实验就在这短短一天之内逆转了。
等他说完不少人已经欢呼起来了。
“我的天啊,真的是4000个晶体管的芯片啊”
“我们终于做出来了。”
“还是陆工脑子好使,一下子就想出办法来了。”
“对呀,对呀,我们可是卡在这里两个月了。”
“那下面是不是要开始做存储器什么的了。”
“”
实验室非常热闹,欢呼声一片,这算是度过了一个大难关了,如果只能用2002号的话因为性能的关系肯定有很多地方不好设计,现在可算是能省不少事了,而且数控装置的体积和重量也会小一些。
陆见看见他们这样,心中也很高兴,精神上的亢奋似乎已经将身体的疲惫完全压了下去。
就在陆见准备说话的时候,突然门外传来了一个声音,“哟,这是发生什么好事了这么高兴前几天不还都愁眉苦脸吗”
却原来陆先锋过来了,他站在门口,似笑非笑地看着他们,边上还站着翟志远。
“都忙一夜了,你们都先去食堂吃早饭吧顺便给我和蓝工也带一份。”
陆见对着实验室里的研究员说了一句就急忙走了过去,“陆老,翟工,这是过来有事”
实验室里的研究员也都累了一夜,非常听话地都走了,实验室里面就剩下陆见、蓝明达他们四个。
陆先锋双手背在要后面,在实验室里曼看来一圈,一副很悠闲的样子,“没什么事,就是在楼下听到你们这边热闹得很,所以过来瞧瞧,看看是不是发生什么好事了”
没等陆见说话蓝明达就拿着手上的报告快步走了过来,极度兴奋地说“陆老,翟工,快看看这份测试报告,我们项目组已经成功研制出了拥有4000颗晶体管的芯片了。”
“真的”听到这个消息两人都是满脸吃惊,陆先锋更是直接抢过测试报告看来起来。
“那是当然,芯片测试出来的数据都是合格的,整个电路都没有问题。”蓝明达看起来十分得意的样子。
翟志远有些难以置信,看着他说“你昨天早上不还苦哈哈的,说项目进展不顺利,一点办法都没有吗怎么一天过去连测试报告都已经出来了,你昨天该不会是故意骗我的。”翟志远还清楚地记得蓝明达昨天那副生无可恋的样子,这变化也太快了,想让人相信都难。
蓝明达故作神秘地看着他说“这你就不知道了吧谁让我们这有陆工啊我们纠结两个月的难题被他一下子就解决了,我和你们说啊,昨天早上我们都想要放弃了,结果陆工突然就跑到实验台那边做起了实验,就花了一天一夜的时间,这二代芯片就被弄了出来,也就是这个光学透镜不给力,不然我们还能做出更好的芯片出来。”
陆见听完之后总是觉得蓝明达这话说得虽然和事实差不多,可就感觉像是用了夸张的手法一样,怪怪得,应该是他的语气问题吧
翟志远也是被惊了一下,“光学透镜,怎么会用这个,你们是用光刻技术来生成晶体管吗”他十分好奇地看着陆见。
陆见点头,“没错,利用光学透镜,将整个电路图直接光刻上去,只可惜现在的光学透镜倍率不行”后面的话陆见并没有说完,很多研究都是这样,不单单只是一项独立的技术来,需要各个地方的配合。
就在陆见遗憾的时候,还在看报告的陆先锋突然抬起了头,皱眉想着什么,然后有些迟疑地说“我记得s市有一家光学精密机械研究所,说不定里面会有倍率更高的光学透镜。还有首都的中科院光电技术研究所,a市也还有一家光学研究所,是可以试着找一下,不行的话也可以像上面打下申请,上面肯定会出面帮忙的。说不定能让那些光学研究所专门开个透镜研究项目,那以后不就方便了。”
陆先锋一下子说得挺对,而且还都挺有道理的,蓝明达立即赞同地说“没错,没错,一定要问一问,说不定咱们还能生成6000和8000的晶体管芯片来。”
陆见也觉得可行,不过还是要让数控机床项目组的负责人上报比较好,他还是要去找周老,正好将最新的进展告诉他。
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